Alarm系統(tǒng)通過對設(shè)備的報警信息進行記錄分析，并根據(jù)設(shè)定的Alarm頻率觸發(fā)規(guī)則，Repeat Alarm觸發(fā)Hold Equipment、Hold Lot及操作，同時可通過E-mail/短信等方式及時提醒。Alarm系統(tǒng)還可以監(jiān)控設(shè)備報警數(shù)據(jù)，做到提前預(yù)警、及時檢修，提高設(shè)備利用率；